清华大学学报(自然科学版)

作者：张益源, 赵嘉昊, 尤政

单位：1. 清华大学 精密仪器系, 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 北京 100084;<br>2. 清华大学 北京市未来芯片技术高精尖创新中心, 北京 100084

关键词：感知微系统,多学科设计优化,系统级设计方法

基金：国家自然科学基金面上项目（61774096）

作为传感器系统的典型代表与技术发展趋势，感知微系统具有尺寸小、功能多与自供电等优势。然而当前的设计方法无法平衡其实用性能与约束性能之间的矛盾，使得其进一步发展陷入瓶颈。该文基于多学科设计优化思想提出一种针对感知微系统的系统级设计方法。该方法根据设计目标与各性能边界条件进行学科划分，在子系统分析器内进行参数分析后代入系统级优化器完成目标优化，最终实现感知微系统的优化设计。以重型车辆检测微系统为例，选取不同的设计目标进行系统级优化，并通过叠层集成的方式研制了验证样机。样机的性能测试结果与设计值相符，且满足优化设计目标的需求。该方法可行性和准确性表明，其能够在设计阶段平衡感知微系统的实用性能与约束性能，实现系统的最优化设计。

来源：2019年第3期

《清华大学学报(自然科学版)》期刊编辑部

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