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国内刊号：11-2223/N
国际刊号：1000-0054
发布日期:
作者：张寒, 黄泽宇, 张国君, 欧阳葆华, 吴学民, 郑丽丽
单位：1. 湖北菲利华石英玻璃股份有限公司, 荆州 434000;<br>2. 清华大学 航天航空学院, 北京 100084
关键词：化学气相沉积,反应流数值模拟,SiO2疏松体
基金：国家重点研发计划项目（2016YFB0303802，2016YFB0303801）
燃烧器设计和流量控制对燃烧稳定性、SiO2生成、疏松体品质和关键组分分布有重要影响。该文通过对八甲基环四硅氧烷（OMCTS，D4）制备SiO2疏松体过程的数值研究，分析了不同下料方式，以及D4和氧气流量分配对SiO2生成效率和沉积面上关键组分分布的影响。结果表明：采用多点下料方式可以明显提高SiO2生成率和沉积均匀性；内外D4进口流速接近时，SiO2生成率较高，并且OH浓度有所降低；根据D4质量流量分配对氧气进口流量分配进行调整，能够提高SiO2生成率，但相应的OH浓度也有所增加；但在保持D4质量流量不变的情况下，采用多点下料，导致D4进口速度降低，一定程度上降低了沉积效率。采用多点下料时，可以考虑适当提高D4流量，控制火焰温度，有利于提高SiO2生成和沉积效率。
来源：2020年第3期
《清华大学学报(自然科学版)》期刊编辑部
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