清华大学学报(自然科学版)

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国内刊号:11-2223/N

国际刊号:1000-0054

清华大学学报(自然科学版)杂志2021年第6期:环形二极管电容检测电路特性

发布日期:

作者:周晓桐, 张嵘

单位:清华大学 精密仪器系, 北京 100084

关键词:微电容检测,环形二极管,“漏电最小化”原则,电容检测分辨率

在陀螺仪中,微电容检测系统的精度直接决定了转子位移测量精度,进而影响了陀螺的精度。为适应高精度转子陀螺的特殊结构,该文研制了一种基于环形二极管解调的微电容检测系统。研究了该系统输出增益变化规律,提出了基于漏电最小化原则的增益解算算法;研究了输出噪声的特性,并设计了相应的噪声解算算法;在此基础上,提出一种基于环形二极管解调的新型微电容检测方法,抑制噪声以提高电容检测分辨率。实验结果表明:优化电路后的电容分辨率达到20.0 aF,单位带宽下的分辨率达到0.258 aF·Hz-1/2,满足电容测量的精度需求。

来源:2021年第6期

《清华大学学报(自然科学版)》期刊编辑部

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