清华大学学报(自然科学版)

作者：陈天元, 周钰颖, 高安

单位：1. 上海微电子装备集团股份有限公司, 前道系统集成部, 上海 201203;<br>2. 上海微电子装备集团股份有限公司, 量测产品部, 上海 201203;<br>3. 上海市光刻光学与检测重点实验室, 上海 201203

关键词：计算光刻,光刻成像仿真软件,微型衍射套刻标记,穿线套刻

在光刻机的对准、曝光和量测等过程中,存在量程范围小,测量精度要求极高的套刻标记。这些套刻标记在实现特定功能的同时,会受到多种误差的影响,比如标记线宽与设计差异、标记线条边缘粗糙度、标记边缘效应等。该文旨在解决光刻套刻量测领域中的问题,特别是针对业界常用的微型衍射套刻(micro diffraction-based overlay,μDBO)标记,通过对穿线套刻情形进行量测过程的仿真研究,提出了一种借助光刻成像仿真软件进行标记量测结果仿真的方法。该文运用自制代码的DrM软件和商业仿真软件HyperLith作为工具,两者的仿真结果均定性还原了实验中探测到的特殊亮暗线现象,验证了该方法用于量测仿真的可行性。此外,该文还对匹配实验仪器的穿线套刻μDBO标记设计、照明波长、照明配置和待测信号区域等参数进行仿真优化,输出了基于目前实验配置的优化标记与方案。

来源：2023年第12期

《清华大学学报(自然科学版)》期刊编辑部

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